整理了集成電路芯片制程中的各種設備及其國內外發展現狀，包括晶圓制備設備、熱工藝設備、光刻設備、刻蝕設備、離子注入機、薄膜淀積設備、檢測設備、化學機械拋光設備及封裝設備，詳細介紹了每類設備的工作原理、發展歷程以及當前的國內外市場情況，并對每類設備的國內外代表性企業及其代表性產品進行了介紹，本書對集成電路芯片制程設備感興趣的讀者來說，是不錯的知識來源。